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Michell高純氣體露點(diǎn)變送器Pura核心特性概覽

高純氣體露點(diǎn)變送器專為**測(cè)量和控制高純氣體（例如半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵氣體）中的微量水分而設(shè)計(jì)。這類設(shè)備不僅具備高精度和**的穩(wěn)定性，還符合嚴(yán)格的工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，對(duì)于維持高純氣體的品質(zhì)至關(guān)重要。在半導(dǎo)體等超純氣應(yīng)用中，氣體中殘留的微量濕氣對(duì)工藝過程的正常運(yùn)行具有決定性影響。密析爾儀表憑借其深厚的技術(shù)積累，推出了經(jīng)濟(jì)高效、易于使用的在線露點(diǎn)測(cè)量解決方案，能夠精準(zhǔn)測(cè)量低至-120°C（相當(dāng)于不到1 ppbV）的露點(diǎn)值。

Pura變送器：半導(dǎo)體與超純氣體的理想選擇Michell高純氣體露點(diǎn)變送器Pura核心特性概覽

Pura變送器融合了密析爾在阻抗露點(diǎn)傳感器領(lǐng)域的專業(yè)經(jīng)驗(yàn)，采用標(biāo)準(zhǔn)化工業(yè)材料和制造流程，打造出了一款適用于半導(dǎo)體制造及超純氣體應(yīng)用的經(jīng)濟(jì)型變送器。以下是Pura變送器及同類高純氣體露點(diǎn)變送器的核心特性：

1. 高精度測(cè)量：提供±0.1°C或更高精度的水分含量測(cè)量，確保高純氣體的品質(zhì)穩(wěn)定。

2. 超低檢測(cè)限：能夠測(cè)量極低的露點(diǎn)溫度，滿足高純氣體應(yīng)用中的嚴(yán)格要求。

3. 快速響應(yīng)：迅速響應(yīng)濕度變化，實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)監(jiān)控與控制，確保工藝過程的穩(wěn)定性。

4. 長(zhǎng)期穩(wěn)定性：具備長(zhǎng)期的校準(zhǔn)穩(wěn)定性，減少頻繁校準(zhǔn)的需求，降低維護(hù)成本。

5. 抗污染性能：有效防止氣體污染，確保測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性。

6. 自動(dòng)校準(zhǔn)：部分型號(hào)配備自動(dòng)校準(zhǔn)功能，確保傳感器讀數(shù)持續(xù)準(zhǔn)確。Michell高純氣體露點(diǎn)變送器Pura核心特性概覽

7. 耐腐蝕材質(zhì)：采用不銹鋼或特殊合金等耐腐蝕材料制造，適應(yīng)各種腐蝕性氣體環(huán)境。

8. 數(shù)字通信接口：提供RS-485、以太網(wǎng)或無線通信等數(shù)字通信接口，便于集成到自動(dòng)化系統(tǒng)中。

9. 用戶友好界面：配備直觀的用戶界面，包括觸摸屏和圖形顯示，簡(jiǎn)化設(shè)置與操作。

10. 數(shù)據(jù)記錄與分析：具備數(shù)據(jù)記錄功能，便于歷史數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)、分析與趨勢(shì)追蹤。

Pura變送器亮點(diǎn)

• 測(cè)量下限可達(dá)-120°C露點(diǎn)（1 ppbV），滿足高純氣體測(cè)量的**要求。
• 測(cè)量穩(wěn)定，重復(fù)性好，確保數(shù)據(jù)的可靠性。
• 高度集成的采樣裝置，簡(jiǎn)化安裝與操作。
• 模擬和數(shù)字輸出，靈活適應(yīng)各種系統(tǒng)集成需求。
• 緊湊的設(shè)計(jì)，便于安裝與攜帶。
• 可選顯示/報(bào)警單元，滿足不同應(yīng)用場(chǎng)景的需求。

服務(wù)與校準(zhǔn)Michell高純氣體露點(diǎn)變送器Pura核心特性概覽

密析爾提供傳感器替換與校準(zhǔn)服務(wù)，確保設(shè)備的持續(xù)運(yùn)行與可追溯性。傳感器外殼采用冷拉不銹鋼制成，內(nèi)部達(dá)到清潔室標(biāo)準(zhǔn)，確保測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性。

技術(shù)指標(biāo)

• 傳感器類型：密析爾陶瓷濕度傳感器，量程覆蓋-120°C至-40°C露點(diǎn)，精度可達(dá)±1°C至±4°C（根據(jù)不同溫度范圍）。
• 壓力范圍：低至10-9 torr，高至24 MPa。
• 氣體流量：1~5 Nl/min。
• 電氣性能：支持24 V DC電源，提供4-20 mA輸出，具備輸出出錯(cuò)狀態(tài)指示。
• 機(jī)械性能：傳感器套筒采用不銹鋼材質(zhì)，氣路連接端口符合標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格，安裝配置靈活。

總之，高純氣體露點(diǎn)變送器憑借其**的性能特點(diǎn)，在半導(dǎo)體制造、光纖生產(chǎn)等高科技行業(yè)中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用，為高純氣體的生產(chǎn)和處理提供了關(guān)鍵的濕度監(jiān)測(cè)與控制手段。

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