LDETEK等離子發射色譜儀用于分析氖、氪、氙純度分析AII微量氧分析儀品牌
惰性氣體也被稱為惰性氣體或稀有氣體,它們有幾個特點,使它們變得重要和稀有。獨特的as:低反應性、低導熱性和高穩定性等。處于非常低的濃度在地球大氣層中,這使得這些氣體的生產成本非常高。這六種天然惰性氣體是氦、氖、氬、氪、氙和放射性氡。
其中*稀有的氣體是氖、氪和氙,這使得它們在工業應用中非常昂貴。
高純Kr、Xe、Ne現階段分析難點及現狀:
1、用氦離子色譜不能很好的解決O2,AR獨立檢測的問題,需要用特長色譜柱或脫氧肼,效果欠佳;
2、沒有平行進樣技術,分析周期過長,消耗較多的樣品氣;
3、不采用抽真空進樣,消耗較多樣品氣。LDETEK等離子發射色譜儀用于分析氖、氪、氙純度分析AII微量氧分析儀品牌
氖/氪/氙主要應用:
NEON/KRYPTON/XENON MAJOR APPLICATIONS:
航空航天:氙氣用于以下航空航天應用:衛星計劃、太空旅行、航天器推進劑、衛星推進器和行星探測器。
電子學:這些稀有氣體可用于許多電子應用,例如:準分子激光器,用于激光器的緩沖氣體半導體制造、DRAM集成電路的深槽蝕刻、聚焦蝕刻工藝和等離子面板顯示。
玻璃:氪被用作雙層和三層玻璃隔熱窗的填充物。使用氪的主要優勢減少熱損失,增加裝置的傳熱阻力,降低太陽輻射水平。您還可以增加R值或降低氪、氙和稀有氣體混合物門窗隔熱的U系數。LDETEK等離子發射色譜儀用于分析氖、氪、氙純度分析AII微量氧分析儀品牌
激光器:氖基準分子激光器用于蝕刻硅片、LASIK眼科手術、微加工有機材料、紫外線、集成電路制造中的光刻、微鉆孔、光學閱讀器的氦/氖混合以及晶圓切割。氪氣體激光器也很受歡迎用于科學研究中,用于制造白光激光器和燈光表演。
照明:氪用于明亮的白光和持久的白熾燈泡,以及攝影照明應用。
霓虹燈用于標志的照明。體育場、汽車HID、頭燈、IMAX影院、攝影和其他集中、明亮的燈光應用依賴氙氣來滿足其照明需求。
LDETEK解決方案:
LDETEK SOLUTION:
可以使用MultiDetek2分析設備測量超高純氙、氪和氖的純度。多種因素的組合色譜柱、隔膜閥和檢測器集于一身,用于測量許多不同的雜質,以驗證這些超高純氣體雜質的純度。
我們的系統使用PlasmaDetek2 (PED)作為檢測器,以確保良好的選擇性和靈敏度,低至ppb級;在儀器中安裝的每個PED上都安裝有電路,以優化雜質分析的選擇性。
在同一臺儀器中,我們安裝了熱導率檢測器(TCD),用于測量低至1ppm濃度的氦雜質。這里需要氬氣載氣以達到檢測極限。
本應用說明將分別顯示三種不同配置的MultiDetek2儀器的結果測量氙、氪和氖的純度。不同的色譜圖顯示了每種待分析雜質的響應。
在已知濃度下獲得的峰值響應,然后與空白噪聲水平進行比較,以確定檢測的極限由我們的儀器獲得。
氙氣相色譜結果:
RESULTS FOR XENON GC:
超高純氙氣樣氣中痕量ppm雜質H2-O2-CO-CO2-Ar-C2F6-CF4-CH4-Kr-N2-N2O-SF6的色譜圖。







氙的樣品組成和檢測限的測定:
氪氣相色譜結果:
RESULTS FOR KRYPTON GC:LDETEK等離子發射色譜儀用于分析氖、氪、氙純度分析AII微量氧分析儀品牌
超高純氪樣氣中痕量ppm雜質Ar-CO2-CF4-H2-O2-N2-CH4-CO-Xe的色譜圖。
氪的樣品組成和檢測限的測定:
氖氣相色譜結果:
RESULTS FOR NEON GC:
超高純氖樣氣中痕量ppm雜質O2-Ar-N2-CH4-CO2-CO-H2-He的色譜圖

氖的樣品組成和檢測限的測定:
結論
CONCLUSION:
經過以上數據檢測結果,表明等離子氣相色譜儀可以很好的解決氖、氬、氪、氙、氦的分析難題,包括:
1、氖、氬、氪、氙的氧氬獨立檢測,不使用脫氧技術;
2、通過光譜濾光技術很好的避免Kr的影響;
3、通過平行進樣分析技術,很好的解決了CF4、CH4的分離問題,同時解決G2F6、SF6的分離及檢測靈敏度問題;
4、LDETEK 等離子發射色譜儀可以采用抽真空進樣技術,實現*小的樣品氣消耗。
MultiDetek2氣相色譜儀與PlasmaDetek2和熱導檢測器(TCD)同時使用該儀器可以測量ppb中的多種雜質,同時檢測低至1ppm濃度的雜質。系統是機架式和緊湊型。它還提供完整的遠程控制和適當的工業通信協議。
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