LDETEK等離子發(fā)射色譜儀用于分析氖、氪、氙純度分析AII微量氧分析儀品牌
惰性氣體也被稱為惰性氣體或稀有氣體，它們有幾個特點(diǎn)，使它們變得重要和稀有。獨(dú)特的as：低反應(yīng)性、低導(dǎo)熱性和高穩(wěn)定性等。處于非常低的濃度在地球大氣層中，這使得這些氣體的生產(chǎn)成本非常高。這六種天然惰性氣體是氦、氖、氬、氪、氙和放射性氡。
其中*稀有的氣體是氖、氪和氙，這使得它們在工業(yè)應(yīng)用中非常昂貴。
高純Kr、Xe、Ne現(xiàn)階段分析難點(diǎn)及現(xiàn)狀：
1、用氦離子色譜不能很好的解決O2,AR獨(dú)立檢測的問題，需要用特長色譜柱或脫氧肼，效果欠佳；
2、沒有平行進(jìn)樣技術(shù)，分析周期過長，消耗較多的樣品氣；
3、不采用抽真空進(jìn)樣，消耗較多樣品氣。LDETEK等離子發(fā)射色譜儀用于分析氖、氪、氙純度分析AII微量氧分析儀品牌
氖/氪/氙主要應(yīng)用：
NEON/KRYPTON/XENON MAJOR APPLICATIONS:
航空航天：氙氣用于以下航空航天應(yīng)用：衛(wèi)星計(jì)劃、太空旅行、航天器推進(jìn)劑、衛(wèi)星推進(jìn)器和行星探測器。
電子學(xué)：這些稀有氣體可用于許多電子應(yīng)用，例如：準(zhǔn)分子激光器，用于激光器的緩沖氣體半導(dǎo)體制造、DRAM集成電路的深槽蝕刻、聚焦蝕刻工藝和等離子面板顯示。
玻璃：氪被用作雙層和三層玻璃隔熱窗的填充物。使用氪的主要優(yōu)勢減少熱損失，增加裝置的傳熱阻力，降低太陽輻射水平。您還可以增加R值或降低氪、氙和稀有氣體混合物門窗隔熱的U系數(shù)。LDETEK等離子發(fā)射色譜儀用于分析氖、氪、氙純度分析AII微量氧分析儀品牌
激光器：氖基準(zhǔn)分子激光器用于蝕刻硅片、LASIK眼科手術(shù)、微加工有機(jī)材料、紫外線、集成電路制造中的光刻、微鉆孔、光學(xué)閱讀器的氦/氖混合以及晶圓切割。氪氣體激光器也很受歡迎用于科學(xué)研究中，用于制造白光激光器和燈光表演。
照明：氪用于明亮的白光和持久的白熾燈泡，以及攝影照明應(yīng)用。
霓虹燈用于標(biāo)志的照明。體育場、汽車HID、頭燈、IMAX影院、攝影和其他集中、明亮的燈光應(yīng)用依賴氙氣來滿足其照明需求。
LDETEK解決方案：
LDETEK SOLUTION:
可以使用MultiDetek2分析設(shè)備測量超高純氙、氪和氖的純度。多種因素的組合色譜柱、隔膜閥和檢測器集于一身，用于測量許多不同的雜質(zhì)，以驗(yàn)證這些超高純氣體雜質(zhì)的純度。
我們的系統(tǒng)使用PlasmaDetek2 (PED)作為檢測器，以確保良好的選擇性和靈敏度，低至ppb級；在儀器中安裝的每個PED上都安裝有電路，以優(yōu)化雜質(zhì)分析的選擇性。
在同一臺儀器中，我們安裝了熱導(dǎo)率檢測器（TCD），用于測量低至1ppm濃度的氦雜質(zhì)。這里需要?dú)鍤廨d氣以達(dá)到檢測極限。
本應(yīng)用說明將分別顯示三種不同配置的MultiDetek2儀器的結(jié)果測量氙、氪和氖的純度。不同的色譜圖顯示了每種待分析雜質(zhì)的響應(yīng)。
在已知濃度下獲得的峰值響應(yīng)，然后與空白噪聲水平進(jìn)行比較，以確定檢測的極限由我們的儀器獲得。
氙氣相色譜結(jié)果：
RESULTS FOR XENON GC:
超高純氙氣樣氣中痕量ppm雜質(zhì)H2-O2-CO-CO2-Ar-C2F6-CF4-CH4-Kr-N2-N2O-SF6的色譜圖。
氙的樣品組成和檢測限的測定：
氪氣相色譜結(jié)果：
RESULTS FOR KRYPTON GC:LDETEK等離子發(fā)射色譜儀用于分析氖、氪、氙純度分析AII微量氧分析儀品牌
超高純氪樣氣中痕量ppm雜質(zhì)Ar-CO2-CF4-H2-O2-N2-CH4-CO-Xe的色譜圖。
氪的樣品組成和檢測限的測定：
氖氣相色譜結(jié)果：
RESULTS FOR NEON GC:
超高純氖樣氣中痕量ppm雜質(zhì)O2-Ar-N2-CH4-CO2-CO-H2-He的色譜圖
氖的樣品組成和檢測限的測定：
結(jié)論
CONCLUSION:
經(jīng)過以上數(shù)據(jù)檢測結(jié)果，表明等離子氣相色譜儀可以很好的解決氖、氬、氪、氙、氦的分析難題，包括：
1、氖、氬、氪、氙的氧氬獨(dú)立檢測，不使用脫氧技術(shù)；
2、通過光譜濾光技術(shù)很好的避免Kr的影響；
3、通過平行進(jìn)樣分析技術(shù)，很好的解決了CF4、CH4的分離問題，同時解決G2F6、SF6的分離及檢測靈敏度問題；
4、LDETEK 等離子發(fā)射色譜儀可以采用抽真空進(jìn)樣技術(shù)，實(shí)現(xiàn)*小的樣品氣消耗。
MultiDetek2氣相色譜儀與PlasmaDetek2和熱導(dǎo)檢測器（TCD）同時使用該儀器可以測量ppb中的多種雜質(zhì)，同時檢測低至1ppm濃度的雜質(zhì)。系統(tǒng)是機(jī)架式和緊湊型。它還提供完整的遠(yuǎn)程控制和適當(dāng)?shù)墓I(yè)通信協(xié)議。
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