加拿大Ldetek Multidetek2等離子發射色譜儀超純氮氣氧氣氬氣雜質檢測
Multidetek2等離子發射色譜儀部分應用及數據
目前，在微量痕量分析方面，由于等離子發射檢測器具有高靈敏度的特點，越來越多的用戶對這種分析方法的認識在提高，包括歐洲、美國、韓國、中國臺灣和大陸等客戶都在尋求這種新的解決方法來替代舊的方案，以達到提高分析精度、節省儀器成本和節省人力的目的。所以目前PLASMA DETEK-PED色譜儀在特氣、半導體電子氣體方面得到了廣泛應用。據不完全統計，全球約有幾萬家客戶在使用這種等離子發射技術。
以下通過幾個實驗的數據來闡述10-6～10-9級別的具體應用及結果。
1. 超純O2中 (30～100)×10-9級別雜質分析穩定性數據(He做載氣)見表1。
表1 超純O2中(30～100)×10-9雜質分析穩定性數據加拿大Ldetek Multidetek2等離子發射色譜儀超純氮氣氧氣氬氣雜質檢測
Table 1 Stability data of (30～100)×10-9 impurity analysis in ultra-pure O2
Ar濃度/10-9H2濃度/10-9CO2濃度/10-9NMHC濃度/10-9N2濃度/10-9CO濃度/10-9CH4濃度/10-938．21238．60331．02539．34218．9238．60139．7237．51540．75232．67839．71320．06937．52438．40340．38439．90833．17939．01819．53438．28240．378ave38．7036666739．7543333332．29439．3576666719．5076666738．1356666739．50033333STDEV1．2217725740．8840287830．9203336350．2839487430．4694467190．4516948330．821115637RSD/%3．1567359872．2237293622．8498595250．721457262．4064729381．1844419482．07875622296．66494．21377．123100．61846．0797．39998．80198．53497．0977．96199．93747．63797．7100．80897．3298．379．013100．21248．18498．296101．18ave97．50696．5343333378．03233333100．255666747．29797．79833333100．263STDEV0．7746706831．7141501940．7732362010．2797264540．8958976880．3727414951．04488564RSD/%0．7944851421．775689680．9909176980．279013111．8941955890．3811327681．04214479967．6166．9354．46768．8832．19966．83970．1566．96567．63254．3668．95333．15567．62269．61166．79765．98255．28669．24432．80266．6868．817ave67．12466．84854．7043333369．0256666732．7186666767．04769．526STDEV0．3504311630．6761005840．4136136150．1572351390．3947086130．4117353520．547504033RSD/%0．5220653761．0113998690．7560893070．2277922781．2063713250．614099590．78748099138．7036666739．7543333332．29439．3576666719．5076666738．1356666739．5003333397．50696．5343333378．03233333100．255666747．29797．79833333100．26367．12466．84854．7043333369．0256666732．7186666767．04769．52638．2138．5931．0239．3418．9238．5939．7297．3298．2979．01100．2148．1898．29101．1866．9667．6254．3668．9533．1567．6269．61
2. Multidetek2的數據線性見圖2。加拿大Ldetek Multidetek2等離子發射色譜儀超純氮氣氧氣氬氣雜質檢測
兵團工會黨組高度重視這次培訓班的舉辦，專門邀請自治區總工會領導和專家為大家授課，希望大家能夠珍惜這次難得的機會，認真學習思考，在有限的時間里學有所獲，學有所得，并緊緊聯系本單位、本行業的工作實際，邊學習、邊思考、邊交流，切實將學習成果轉化為推動工會幫扶工作的有力措施，提高幫扶工作能力和水平，在綜合素質上有新的提高，把學習的理論業務知識盡快運用到工作實踐中去。希望大家珍惜這次培訓學習的機會，做到自覺遵守培訓班的有關規定，認真學習，相互交流，深入研究，共同提高，以更加高昂的斗志和嶄新的姿態，開創兵團工會幫扶工作的新局面，為發揮兵團特殊作用，維護新疆社會穩定和長治久安貢獻力量。□
圖2 Multidetek2的數據線性 Fig.2 The data linearity of Multidetek2
4. PLASMADETEK-PED等離子發射檢測器只需要采用高純N2作為**的氣源就能實現CnHm的微量痕量分析，既**又能達到10-9數量級的靈敏度，運行成本和維護成本都大大降低。
圖3 30×10-9 Ar-H2-CO2-NMTHC-N2-CO-CH4譜圖 Fig.3 Chromatograph of 30×10-9 Ar-H2-CO2-NMTHC-N2-CO-CH4
圖4 60×10-9 Ar-H2-CO2-NMTHC-N2-CO-CH4譜圖 Fig.4 Chromatograph of 60×10-9 Ar-H2-CO2-NMTHC-N2-CO-CH4
圖5 90×10-9 Ar-H2-CO2-NMTHC-N2-CO-CH4譜圖 Fig.5 Chromatograph of 90×10-9 Ar-H2-CO2-NMTHC-N2-CO-CH4
圖6 Ar-H2-CO2-NMTHC-N2-CO-CH4零點氣譜圖 Fig.6 Zero gas chromatograph of Ar-H2-CO2-NMTHC-N2-CO-CH4
7 超純O2中Ar和N2分析譜圖加拿大Ldetek Multidetek2等離子發射色譜儀超純氮氣氧氣氬氣雜質檢測
該系統使用Argotek氧氬分離的專用色譜柱結合濾光片技術，使得氬和氮具有非常好的重復性和線性。該系統優點如下：
1. 不需要使用脫氧肼或脫氧柱技術，節省大量的成本和維護。2. 直接進樣分析，減少誤差和人員操作。3. 不需要脫氧肼，就減少了使用高**2/CO還原的危險性，不需要氦氣保護脫氧肼，降低氣體的成本。4. 在常溫下利用Argotek專用色譜儀實現純氧中Ar的分離，可以很好的縮短分析周期，提高分析精度和重復性。
7.1 譜圖及數據
60×10-9的譜圖見圖7；30×10-9譜圖見圖8；3×10-9譜圖見圖9；數據見表2。
圖7 氧中60×10-9 AR,N2譜圖 Fig.7 Chromatogram of 61×10-9 Ar & 77×10-9N2 in pure oxygen
圖8 氧中30×10-9 Ar, N2譜圖 Fig.8 Chromatogram of 30×10-9 Ar & 38×10-9 N2 in pure oxygen
圖9 氧中3×10-9 AR,N2譜圖 Fig.9 Chromatogram of 3×10-9 Ar & 3.8×10-9 N2 in pure oxygen 表2 LDL計算 Table 2 LDL calculation
ComponentConcentration10-9PeakheightmVNoisemVLDL(3×Noise)10-9Ar3951．50．1N23．81562．70．2
7.2 80×10-9～10×10-6 O2中Ar，N2線性
80×10-9～10×10-6 O2中Ar，N2線性見圖10。
圖10 80×10-9～10×10-6 O2中Ar，N2線性 Fig.10 80×10-9-10×10-6 Ar, N2 linear in O2
7.3 He中Ne-Ar的檢測實驗結果(表3、圖11)
表3 He中Ne-Ar的檢測實驗結果
Table 3 Test results of Ne-Ar detection in He
Ne?ArinHe(0．276×10-6)Ne?ArinHe(0．101×10-6)Ne?ArinHe(0．028×10-6)組號1NeAr峰面積值組號2NeAr峰面積值組號3NeAr峰面積值13816．578458．3611382．583376．661390．13954．6323858．538411．6021392．133393．752378．211003．7633856．028386．5431386．523406．783380．921121．7343849．928377．8541387．683414．314387．691011．3653814．328403．6951403．193429．495378．591006．4363838．508392．3361380．833435．546381．131302．5473888．368369．6971398．843438．297384．4981036．73683817．898369．8481400．673462．508368．081038．9691393．453444．869405．681035．9510367．921102．97平均值3842．518396．24平均值1391．773422．46平均值383．881056．90RSD/%0．670．35RSD/%0．610．80RSD/%1．7610．31
圖11 He中Ne-Ar的檢測實驗結果 Fig.11 Test results of Ne-Ar detection in He
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