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美國AII微量氧分析儀深特露點(diǎn)儀應(yīng)用于OLED制備技術(shù)手套箱內(nèi) - 埃登威自動化系統(tǒng)設(shè)備（上海）有限公司

美國AII微量氧分析儀深特露點(diǎn)儀應(yīng)用于OLED制備技術(shù)手套箱內(nèi)


埃登威公司產(chǎn)品：微量氧分析儀 露點(diǎn)儀 手套箱氧分析儀 手套箱露點(diǎn)儀

OLED制備技術(shù)的研究是集多領(lǐng)域、多學(xué)科的綜合性學(xué)術(shù)研究，它涵蓋了半導(dǎo)體、化學(xué)、薄膜電子、真空物理、光學(xué)等。OLED廣闊的發(fā)展前景也激活了國內(nèi)各高校、研究所的科研工作者的熱情。埃登威公司產(chǎn)品：微量氧分析儀 露點(diǎn)儀 手套箱氧分析儀 手套箱露點(diǎn)儀針對OLED研究領(lǐng)域新開發(fā)了OLED系列等離子增強(qiáng)原子層沉積系統(tǒng)，為廣大OLED領(lǐng)域的研究者提供了一整套的實(shí)驗(yàn)操作平臺和解決方案。

 
       該系統(tǒng)集成了紅外同步原位監(jiān)測儀和質(zhì)譜儀，可以對薄膜生長過程中的環(huán)境氣氛、金屬源及非金屬源的狀態(tài)以及產(chǎn)物進(jìn)行原位實(shí)時監(jiān)測。使研究人員可以直觀的把握薄膜的生長質(zhì)量，減小實(shí)驗(yàn)操作的誤差，縮短整個實(shí)驗(yàn)的時間長度。 
 

    為了保證整個實(shí)驗(yàn)過程中的薄膜質(zhì)量，保證薄膜不受環(huán)境中水氧的腐蝕。該系統(tǒng)設(shè)計(jì)中將等離子增強(qiáng)原子層沉積系統(tǒng)的腔室與手套箱直接聯(lián)通，保證實(shí)驗(yàn)全過程全部處于無水無氧的干燥條件下進(jìn)行，保持OLED器件處于佳的性能狀態(tài)。

 
     同時該系統(tǒng)可以靈活的集成其他OLED制備儀器，如：蒸發(fā)臺、勻膠機(jī)等實(shí)驗(yàn)設(shè)備。確保在實(shí)驗(yàn)過程中，將樣品的轉(zhuǎn)移和存放過程中周圍環(huán)境的影響減到小。

   埃登威公司產(chǎn)品：微量氧分析儀 露點(diǎn)儀 手套箱氧分析儀 手套箱露點(diǎn)儀在開發(fā)OLED系列PEALD設(shè)備的同時，也同步研究OLED的封裝技術(shù)。目前水氧阻隔的封裝薄膜技術(shù)已經(jīng)具有初步成果，期待與您分享OLED制造工藝中的每一次發(fā)現(xiàn)和進(jìn)步。


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